蘇州電子特氣提純復疊制冷機組

簡要描述：蘇州電子特氣提純復疊制冷機組用于實現低溫分離、液化純化等關鍵步驟，不同氣體的物性差異導致所需溫度范圍差異顯著。

產品型號：
廠商性質：生產廠家
更新時間：2026-01-07
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制冷機組

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詳細介紹

蘇州電子特氣提純復疊制冷機組-江蘇康士捷機械設備有限公司設計生產，型號齊全。

蘇州電子特氣提純復疊制冷機組用于

氣體類型	用途	提純溫度范圍
高純硅烷（SiH?）	CVD沉積、外延生長	-80℃～-120℃
六氟化鎢（WF?）	金屬鎢沉積	-30℃～-50℃
三氟化氮（NF?）	等離子體清洗	-60℃～-80℃
氯化物（HCl）	刻蝕、外延	-85℃～-100℃
八氟環丁烷（C?F?）	介電材料刻蝕	-40℃～-60℃

蘇州電子特氣提純復疊制冷機組有高溫型（5℃～35℃）、中溫型（-5℃～-40℃）、低溫型（-40℃～-80℃）、極低溫型（-150℃～-80℃）、冷熱兩用型（-150℃～+300℃）等系列產品供貴司選用。制冷量大小都有，有防爆型，防腐型，撬裝式，變頻型等。接受非標定做。溫度穩定性±0.1℃等可選。